傳感器,顧名思義是傳遞、感應的元器件。它對于干燥箱的作用相當的大,干燥箱是依靠傳感器來傳遞溫度信息在儀表上能顯示。
硅壓力傳感器的可靠性強化是與一般的干燥箱的傳感器不一樣,廣泛應用于航空、石油化工、動力機械、生物醫學、氣象、地質以及地震測量等領域中。為保證產品在使用過程中可靠性有保障, 通過對硅壓阻式壓力傳感器進行可靠性強化實驗, 對其進行定性的分析,提出相關改進措施。目前技術已經朝著微型化、集成化及智能化的趨勢發展, 成為當今發展高新技術裝備不可缺少的電子產品。而硅壓阻式壓力傳感器的一些參數隨環境應力的改變而發生變化, 為了使產品在使用過程中的可靠性有保障, 盡早發現硅壓阻式壓力傳感器系統設計和制造工藝缺陷是解決上述問題的根本。但是,MEMS器件可靠性標準的缺乏和研究人員對器件的可靠性研究不足, 限制了它的使用,以及可靠性的提高。
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