傳統制造磁通門的方法是防潮箱在高導磁鐵芯上用機械的方法纏繞上勵磁線圈和感應線圈制成探頭，再與接口電路連接起來，這種方法制作的磁通門在微型磁通門體積、質量以及功耗等許多方面都難以實現微型化。目前，利用MEMS防潮箱技術與半導體集成電路工藝微型磁通門相結合是研制微型磁通門傳感器的突破口。由于微加工技術的要求，微型固態傳感器必須制作在某種固體襯底材料上，襯底材料的不同，使得傳感器的制作方法也不同。據文獻報道，目前微型磁通門的制造工藝主要分為三種: 一是利用PCB板加工制作磁通門探頭,2000年，瑞士的O.Dezuari等發表了他們利用三層PCB防潮箱板制作微型磁通門探頭的技術，該磁通門在10kHz的勵磁頻率下，靈敏度為18V/T。 與此同時，其同胞Pavel Kejik等也制作出PCB板式探頭的磁通門傳感器，在8.4kHz的頻率激勵下，防潮箱其靈敏度為55V/T。二是在非半導體（如釩、玻璃等）襯底上制作磁通門探頭。1994年，I.Vincueria等利用平面加工技術在金屬釩襯底上制作了微型磁通門探頭防潮箱。線圈由Ti-Pd-Cu三層構成，其中Ti和Pd是用低壓氣相淀積（LPVD）方法制作，Cu是用電鍍的方法制作而成防潮箱。另外，2防潮箱000年P.A.Roberson發表了制作在玻璃上的微型磁通門傳感器防潮箱。三是在半導體材料特別是硅襯底上制作磁通門探頭以及包括接口電路在內的磁通門系統。1990年，瑞士的T. Seitz先采用微電子平面工藝制作了世界上個微型磁通門傳感器，該磁通門將磁芯和感應線圈集成到一個芯片上。
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